Low energy ion implantation simulation using a modified binary collision approximation code

  1. Arias, J.
  2. Jaraiz, M.
  3. Pelaz, L.
  4. Bailón, L.A.
  5. Barbolla, J.
Zeitschrift:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 102

Nummer: 1-4

Seiten: 228-231

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0168-583X(95)80146-D GOOGLE SCHOLAR
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