Low energy ion implantation simulation using a modified binary collision approximation code
ISSN: 0168-583X
Ano de publicación: 1995
Volume: 102
Número: 1-4
Páxinas: 228-231
Tipo: Artigo
ISSN: 0168-583X
Ano de publicación: 1995
Volume: 102
Número: 1-4
Páxinas: 228-231
Tipo: Artigo