Molecular dynamics simulation of amorphous silicon sputtering by Ar+ ions

  1. Rubio, J.E.
  2. Marqués, L.A.
  3. Jaraíz, M.
  4. Bailón, L.A.
  5. Barbolla, J.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1995

Volumen: 102

Número: 1-4

Páginas: 301-304

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0168-583X(95)80157-H GOOGLE SCHOLAR

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