Molecular dynamics study of the fluence dependence of Si sputtering by 1 keV Ar+ ions
ISSN: 0168-583X
Año de publicación: 1996
Volumen: 112
Número: 1-4
Páginas: 156-159
Tipo: Artículo
ISSN: 0168-583X
Año de publicación: 1996
Volumen: 112
Número: 1-4
Páginas: 156-159
Tipo: Artículo