Dose effects on amorphous silicon sputtering by argon ions: A molecular dynamics simulation
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 1997
Ausgabe: 81
Nummer: 3
Seiten: 1488-1494
Art: Artikel
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 1997
Ausgabe: 81
Nummer: 3
Seiten: 1488-1494
Art: Artikel