Dose effects on amorphous silicon sputtering by argon ions: A molecular dynamics simulation
ISSN: 0021-8979
Ano de publicación: 1997
Volume: 81
Número: 3
Páxinas: 1488-1494
Tipo: Artigo
ISSN: 0021-8979
Ano de publicación: 1997
Volume: 81
Número: 3
Páxinas: 1488-1494
Tipo: Artigo