Electrical characterization of He-ion implantation-induced deep levels in p+n InP junctions

  1. Quintanilla, L.
  2. Pinacho, R.
  3. Enríquez, L.
  4. Peláez, R.
  5. Dueñas, S.
  6. Castán, E.
  7. Bailón, L.
  8. Barbolla, J.
Aldizkaria:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Argitalpen urtea: 1999

Alea: 86

Zenbakia: 9

Orrialdeak: 4855-4860

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.371452 GOOGLE SCHOLAR

Lotura duten proiektuak

SIMULACION Y CARACTERIZACION DE LA IMPLANTACION IONICA EN SEMICONDUCTORES.

1996/00094/001

Datuen iturria: Scopus