Enhanced modelization of ion implant simulation in compound semiconductors
ISSN: 0038-1101
Any de publicació: 2002
Volum: 46
Número: 9
Pàgines: 1315-1324
Tipus: Article
ISSN: 0038-1101
Any de publicació: 2002
Volum: 46
Número: 9
Pàgines: 1315-1324
Tipus: Article