Enhanced modelization of ion implant simulation in compound semiconductors

  1. Hernández-Mangas, J.M.
  2. Enriquez, L.
  3. Arias, J.
  4. Jaraíz, M.
  5. Bailón, L.
Zeitschrift:
Solid-State Electronics

ISSN: 0038-1101

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 46

Nummer: 9

Seiten: 1315-1324

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0038-1101(02)00072-2 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus