Enhanced modelization of ion implant simulation in compound semiconductors
ISSN: 0038-1101
Ano de publicación: 2002
Volume: 46
Número: 9
Páxinas: 1315-1324
Tipo: Artigo
ISSN: 0038-1101
Ano de publicación: 2002
Volume: 46
Número: 9
Páxinas: 1315-1324
Tipo: Artigo