Improved binary collision approximation ion implant simulators

  1. Hernández-Mangas, J.M.
  2. Arias, J.
  3. Bailón, L.
  4. Jaraíz, M.
  5. Barbolla, J.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 2002

Volumen: 91

Número: 2

Páginas: 658-667

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.1424052 GOOGLE SCHOLAR
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