Atomistic modeling of defect evolution in Si for amorphizing and subamorphizing implants

  1. Lopez, P.
  2. Pelaz, L.
  3. Marqués, L.A.
  4. Santos, I.
  5. Aboy, M.
  6. Barbolla, J.
Revista:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Any de publicació: 2004

Volum: 114-115

Número: SPEC. ISS.

Pàgines: 82-87

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/J.MSEB.2004.07.040 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus