Atomistic modeling of defect evolution in Si for amorphizing and subamorphizing implants
ISSN: 0921-5107
Ano de publicación: 2004
Volume: 114-115
Número: SPEC. ISS.
Páxinas: 82-87
Tipo: Achega congreso
ISSN: 0921-5107
Ano de publicación: 2004
Volume: 114-115
Número: SPEC. ISS.
Páxinas: 82-87
Tipo: Achega congreso