Ion-beam-induced amorphization and recrystallization in silicon

  1. Pelaz, L.
  2. Marqús, L.A.
  3. Barbolla, J.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 2004

Volumen: 96

Número: 11

Páginas: 5947-5976

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.1808484 GOOGLE SCHOLAR
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