Atomistic modeling of ion beam induced amorphization in silicon

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Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 241

Nummer: 1-4

Seiten: 501-505

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.NIMB.2005.07.096 GOOGLE SCHOLAR
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