Physical insight into ultra-shallow junction formation through atomistic modeling

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2006

Volumen: 253

Número: 1-2

Páginas: 41-45

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.NIMB.2006.10.036 GOOGLE SCHOLAR
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