Characterization of octadecaborane implantation into Si using molecular dynamics
- Marqués, L.A.
- Pelaz, L.
- Santos, I.
- Venezia, V.C.
ISSN: 1098-0121, 1550-235X
Any de publicació: 2006
Volum: 74
Número: 20
Tipus: Article
ISSN: 1098-0121, 1550-235X
Any de publicació: 2006
Volum: 74
Número: 20
Tipus: Article