Characterization of octadecaborane implantation into Si using molecular dynamics

  1. Marqués, L.A.
  2. Pelaz, L.
  3. Santos, I.
  4. Venezia, V.C.
Zeitschrift:
Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

ISSN: 1098-0121 1550-235X

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 74

Nummer: 20

Art: Artikel

DOI: 10.1103/PHYSREVB.74.201201 GOOGLE SCHOLAR

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