Growth and characterization of 3C-SiC films for Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) applications

  1. Bosi, M.
  2. Watts, B.E.
  3. Attolini, G.
  4. Ferrari, C.
  5. Frigeri, C.
  6. Salviati, G.
  7. Poggi, A.
  8. Mancarella, F.
  9. Roncaglia, A.
  10. Martínez, O.
  11. Hortelano, V.
Revista:
Crystal Growth and Design

ISSN: 1528-7483,  1528-7505

Any de publicació: 2009

Volum: 9

Número: 11

Pàgines: 4852-4859

Tipus: Article

DOI: 10.1021/CG900677C GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus