Growth and characterization of 3C-SiC films for Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) applications

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Revista:
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ISSN: 1528-7483,  1528-7505

Ano de publicación: 2009

Volume: 9

Número: 11

Páxinas: 4852-4859

Tipo: Artigo

DOI: 10.1021/CG900677C GOOGLE SCHOLAR
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