Electrical characterization of ZrO2-based MIS structures with highly doped Si substrates

  1. Gómez, A.
  2. Dueñas, S.
  3. Castán, H.
  4. García, H.
  5. Bailón, L.
  6. Kukli, K.
  7. Niinistö, J.
  8. Ritala, M.
  9. Leskelä, M.
Actes:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Any de publicació: 2009

Pàgines: 227-230

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800472 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus