Electrical characterization of ZrO2-based MIS structures with highly doped Si substrates

  1. Gómez, A.
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  7. Niinistö, J.
  8. Ritala, M.
  9. Leskelä, M.
Konferenzberichte:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Datum der Publikation: 2009

Seiten: 227-230

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800472 GOOGLE SCHOLAR

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