Electrical characterization of ZrO2-based MIS structures with highly doped Si substrates

  1. Gómez, A.
  2. Dueñas, S.
  3. Castán, H.
  4. García, H.
  5. Bailón, L.
  6. Kukli, K.
  7. Niinistö, J.
  8. Ritala, M.
  9. Leskelä, M.
Actas:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Ano de publicación: 2009

Páxinas: 227-230

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800472 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus