Electrical characterization of ZrO2-based MIS structures with highly doped Si substrates

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Actas:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Año de publicación: 2009

Páginas: 227-230

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800472 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible