Electron irradiation effects on atomic layer deposited high-k gate dielectrics

  1. García, H.
  2. Castán, H.
  3. Dueñas, S.
  4. Bailón, L.
  5. Campabadal, F.
  6. Rafi, J.M.
  7. Zabala, M.
  8. Beldarrain, O.
  9. Ohyama, H.
  10. Takakura, K.
  11. Tsunoda, I.
Actes:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566779036

Any de publicació: 2011

Volum: 41

Número: 3

Pàgines: 349-359

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1149/1.3633051 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus