Electron irradiation effects on atomic layer deposited high-k gate dielectrics

  1. García, H.
  2. Castán, H.
  3. Dueñas, S.
  4. Bailón, L.
  5. Campabadal, F.
  6. Rafi, J.M.
  7. Zabala, M.
  8. Beldarrain, O.
  9. Ohyama, H.
  10. Takakura, K.
  11. Tsunoda, I.
Konferenzberichte:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566779036

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 41

Nummer: 3

Seiten: 349-359

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1149/1.3633051 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus