Electron irradiation effects on atomic layer deposited high-k gate dielectrics

  1. García, H.
  2. Castán, H.
  3. Dueñas, S.
  4. Bailón, L.
  5. Campabadal, F.
  6. Rafi, J.M.
  7. Zabala, M.
  8. Beldarrain, O.
  9. Ohyama, H.
  10. Takakura, K.
  11. Tsunoda, I.
Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566779036

Ano de publicación: 2011

Volume: 41

Número: 3

Páxinas: 349-359

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1149/1.3633051 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus