Electron irradiation effects on atomic layer deposited high-k gate dielectrics

  1. García, H.
  2. Castán, H.
  3. Dueñas, S.
  4. Bailón, L.
  5. Campabadal, F.
  6. Rafi, J.M.
  7. Zabala, M.
  8. Beldarrain, O.
  9. Ohyama, H.
  10. Takakura, K.
  11. Tsunoda, I.
Aktak:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566779036

Argitalpen urtea: 2011

Alea: 41

Zenbakia: 3

Orrialdeak: 349-359

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1149/1.3633051 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus