Dominant iron gettering mechanism in p/p+ silicon wafers

  1. Lin, W.
  2. Benton, J.L.
  3. Pinacho, R.
  4. Ramappa, D.A.
  5. Henley, W.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Any de publicació: 2000

Volum: 77

Número: 2

Pàgines: 241-243

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.126937 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus