Dominant iron gettering mechanism in p/p+ silicon wafers

  1. Lin, W.
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  4. Ramappa, D.A.
  5. Henley, W.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 2000

Volumen: 77

Número: 2

Páginas: 241-243

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.126937 GOOGLE SCHOLAR

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