Dominant iron gettering mechanism in p/p+ silicon wafers
- Lin, W.
- Benton, J.L.
- Pinacho, R.
- Ramappa, D.A.
- Henley, W.
ISSN: 0003-6951
Année de publication: 2000
Volumen: 77
Número: 2
Pages: 241-243
Type: Article
ISSN: 0003-6951
Année de publication: 2000
Volumen: 77
Número: 2
Pages: 241-243
Type: Article