Dominant iron gettering mechanism in p/p+ silicon wafers

  1. Lin, W.
  2. Benton, J.L.
  3. Pinacho, R.
  4. Ramappa, D.A.
  5. Henley, W.
Zeitschrift:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 77

Nummer: 2

Seiten: 241-243

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.126937 GOOGLE SCHOLAR
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