Low energy ion implantation simulation using a modified binary collision approximation code
ISSN: 0168-583X
Año de publicación: 1995
Volumen: 102
Número: 1-4
Páginas: 228-231
Tipo: Artículo
ISSN: 0168-583X
Año de publicación: 1995
Volumen: 102
Número: 1-4
Páginas: 228-231
Tipo: Artículo