Enhanced modelization of ion implant simulation in compound semiconductors

  1. Hernández-Mangas, J.M.
  2. Enriquez, L.
  3. Arias, J.
  4. Jaraíz, M.
  5. Bailón, L.
Revista:
Solid-State Electronics

ISSN: 0038-1101

Año de publicación: 2002

Volumen: 46

Número: 9

Páginas: 1315-1324

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0038-1101(02)00072-2 GOOGLE SCHOLAR
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