Boron redistribution in pre-amorphized Si during thermal annealing

  1. Pelaz, L.
  2. Aboy, M.
  3. Duffy, R.
  4. Venezia, V.
  5. Marqués, L.A.
  6. López, P.
  7. Santos, I.
  8. Hernández, J.
  9. Bailón, L.A.
  10. Barbolla, J.
Actes:
2005 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9780780388109

Any de publicació: 2005

Volum: 2005

Pàgines: 431-434

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/SCED.2005.1504473 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus