Boron redistribution in pre-amorphized Si during thermal annealing

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Konferenzberichte:
2005 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9780780388109

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 2005

Seiten: 431-434

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/SCED.2005.1504473 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus