Boron redistribution in pre-amorphized Si during thermal annealing

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Actes de conférence:
2005 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9780780388109

Année de publication: 2005

Volumen: 2005

Pages: 431-434

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1109/SCED.2005.1504473 GOOGLE SCHOLAR
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