Boron redistribution in pre-amorphized Si during thermal annealing

  1. Pelaz, L.
  2. Aboy, M.
  3. Duffy, R.
  4. Venezia, V.
  5. Marqués, L.A.
  6. López, P.
  7. Santos, I.
  8. Hernández, J.
  9. Bailón, L.A.
  10. Barbolla, J.
Actas:
2005 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9780780388109

Ano de publicación: 2005

Volume: 2005

Páxinas: 431-434

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1109/SCED.2005.1504473 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus