Atomistic modeling of ion beam induced amorphization in silicon
ISSN: 0168-583X
Año de publicación: 2005
Volumen: 241
Número: 1-4
Páginas: 501-505
Tipo: Aportación congreso
ISSN: 0168-583X
Año de publicación: 2005
Volumen: 241
Número: 1-4
Páginas: 501-505
Tipo: Aportación congreso