Characterization of octadecaborane implantation into Si using molecular dynamics

  1. Marqués, L.A.
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Revista:
Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

ISSN: 1098-0121,  1550-235X

Año de publicación: 2006

Volumen: 74

Número: 20

Tipo: Artículo

DOI: 10.1103/PHYSREVB.74.201201 GOOGLE SCHOLAR
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