Boron diffusion and activation in SOI and bulk Si: The role of the buried interface
ISSN: 0168-583X
Any de publicació: 2007
Volum: 257
Número: 1-2 SPEC. ISS.
Pàgines: 152-156
Tipus: Article
ISSN: 0168-583X
Any de publicació: 2007
Volum: 257
Número: 1-2 SPEC. ISS.
Pàgines: 152-156
Tipus: Article