Boron diffusion and activation in SOI and bulk Si: The role of the buried interface
ISSN: 0168-583X
Ano de publicación: 2007
Volume: 257
Número: 1-2 SPEC. ISS.
Páxinas: 152-156
Tipo: Artigo
ISSN: 0168-583X
Ano de publicación: 2007
Volume: 257
Número: 1-2 SPEC. ISS.
Páxinas: 152-156
Tipo: Artigo