Boron diffusion and activation in SOI and bulk Si: The role of the buried interface

  1. Aboy, M.
  2. Pelaz, L.
  3. Montserrat, J.
  4. Bermúdez, F.J.
  5. Hamilton, J.J.
Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 257

Nummer: 1-2 SPEC. ISS.

Seiten: 152-156

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.NIMB.2006.12.157 GOOGLE SCHOLAR
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