Selection of post-growth treatment parameters for atomic layer deposition of structurally disordered TiO2 thin films

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  7. Ritala, M.
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Zeitschrift:
Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN: 0022-3093

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 354

Nummer: 2-9

Seiten: 404-408

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.JNONCRYSOL.2007.07.051 GOOGLE SCHOLAR

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