Selection of post-growth treatment parameters for atomic layer deposition of structurally disordered TiO2 thin films

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Revue:
Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN: 0022-3093

Année de publication: 2008

Volumen: 354

Número: 2-9

Pages: 404-408

Type: Article

DOI: 10.1016/J.JNONCRYSOL.2007.07.051 GOOGLE SCHOLAR
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