Electrical characterization of ZrO2-based MIS structures with highly doped Si substrates

  1. Gómez, A.
  2. Dueñas, S.
  3. Castán, H.
  4. García, H.
  5. Bailón, L.
  6. Kukli, K.
  7. Niinistö, J.
  8. Ritala, M.
  9. Leskelä, M.
Actas:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Año de publicación: 2009

Páginas: 227-230

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800472 GOOGLE SCHOLAR