Electron irradiation effects on atomic layer deposited high-k gate dielectrics

  1. García, H.
  2. Castán, H.
  3. Dueñas, S.
  4. Bailón, L.
  5. Campabadal, F.
  6. Rafi, J.M.
  7. Zabala, M.
  8. Beldarrain, O.
  9. Ohyama, H.
  10. Takakura, K.
  11. Tsunoda, I.
Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781566779036

Año de publicación: 2011

Volumen: 41

Número: 3

Páginas: 349-359

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1149/1.3633051 GOOGLE SCHOLAR
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