Boron diffusion and activation in SOI and bulk Si: The role of the buried interface
ISSN: 0168-583X
Año de publicación: 2007
Volumen: 257
Número: 1-2 SPEC. ISS.
Páginas: 152-156
Tipo: Artículo
ISSN: 0168-583X
Año de publicación: 2007
Volumen: 257
Número: 1-2 SPEC. ISS.
Páginas: 152-156
Tipo: Artículo