Boron diffusion and activation in SOI and bulk Si: The role of the buried interface

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2007

Volumen: 257

Número: 1-2 SPEC. ISS.

Páginas: 152-156

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.NIMB.2006.12.157 GOOGLE SCHOLAR
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